二周波誘導結合型プラズマエッチャーにおける機能分離と気相・表面相互作用の光学的診断
| dc.contributor.author | Miyoshi, Yasufumi / 三好, 康史 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:07:21Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:07:21Z | |
| dc.date.issued | 2005-03-23 | en_US |
| dc.description | 博士（工学）, 2004, 総合デザイン工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1975 | |
| dc.language | jpn | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.subject | プラズマプロセス | ja |
| dc.subject | 誘導結合プラズマ | ja |
| dc.subject | 発光分光法 | ja |
| dc.subject | レーザ吸収分光法 | ja |
| dc.subject | plasma process | en |
| dc.subject | inductively coupled plasma | en |
| dc.subject | optical emission spectroscopy | en |
| dc.subject | laser absorption spectroscopy | en |
| dc.title | 二周波誘導結合型プラズマエッチャーにおける機能分離と気相・表面相互作用の光学的診断 | en_US |
| dc.title.alternative | Optical diagnostics of functional separation and plasma-surface interaction in two frequency inductively coupled plasma | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |