Formation of Shallow p+/n Junction in Silicon using Non-Melt Laser Annealing

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abstract.pdf (234.22 KB)

Date

2012-03-23

Authors

SITI RAHMAH BINTI AID / シティラハマビンティアイド

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

博士（工学）, 2011, 総合デザイン工学

Keywords

浅接合, 非溶融レーザアニーリング, シリコン, shallow junction, Non-melt Laser Annealing, Silicon

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2566

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