セラミックス窒化物薄膜の創製および微細構造制御
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Date
2005-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士（工学）, 2004, 基礎理工学専攻
Keywords
微細構造, 微小硬度, 相変態, 格子定数, 準安定相, Microstructure, Microhardness, Phase transformation, Lattice Parameter, Metastable Phase