LSI微細加工用2周波CCPエッチングとRFマグネトロンスパッタリングプロセスの計算機支援デザイン
| dc.contributor.author | Yagisawa, Takashi / 八木澤, 卓 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:07:42Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:07:42Z | |
| dc.date.issued | 2006-03-23 | en_US |
| dc.description | 博士(工学), 2005, 総合デザイン工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2076 | |
| dc.language | jpn | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.title | LSI微細加工用2周波CCPエッチングとRFマグネトロンスパッタリングプロセスの計算機支援デザイン | en_US |
| dc.title.alternative | LSI bisai kakoyo 2shuha CCP etchingu to RF magunetoron supattaringu purosesu no keisanki shien dezain | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |