微細三次元構造形成用リソグラフィ技術の研究

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Date

2006-03-23

Authors

Hanai, Kei / 花井, 計

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

博士(工学), 2005, 基礎理工学専攻

Keywords

リソグラフィ, 微細加工, MEMS, 三次元構造, lithography, micromachining, MEMS, 3D-structure

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2071

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