3次元微細構造を用いた電気粘着表面の基礎特性解析
| dc.contributor.advisor | 柿沼, 康弘 / 准教授 | |
| dc.contributor.author | SHIMIZU, YUKI / 清水, 勇樹 | |
| dc.date.accessioned | 2014-10-02T23:52:15Z | |
| dc.date.available | 2014-10-02T23:52:15Z | |
| dc.date.issued | 2014-03-23 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2013, 総合デザイン工学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/7514 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | 電気粘着効果 | ja |
| dc.subject | フォトリソグラフィ | ja |
| dc.subject | 3次元微細構造 | ja |
| dc.subject | Electro-Adhesive Effect | en |
| dc.subject | photolithography | en |
| dc.subject | 3 dimensional Micro-structure | en |
| dc.title | 3次元微細構造を用いた電気粘着表面の基礎特性解析 | |
| dc.title.alternative | Basic Performance Analysis of Electro-adhesive Surface with 3 dimensional Micro-structure | |
| dc.type | 学位論文 |