金属アシスト化学エッチングによるシリコンナノワイヤの作製
| dc.contributor.advisor | 伊藤, 公平 / 教授 | |
| dc.contributor.author | YAMADA, MICHIHIRO / 山田, 道洋 | |
| dc.date.accessioned | 2014-05-16T01:16:36Z | |
| dc.date.available | 2014-05-16T01:16:36Z | |
| dc.date.issued | 2012-09-21 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2012, 基礎理工学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/6499 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | シリコン | ja |
| dc.subject | ナノワイヤ | ja |
| dc.subject | エッチング | ja |
| dc.subject | silicon | en |
| dc.subject | nanowire | en |
| dc.subject | etching | en |
| dc.title | 金属アシスト化学エッチングによるシリコンナノワイヤの作製 | |
| dc.title.alternative | Fabrication of Silicon Nanowires by Metal Assisted Chemical Etching | |
| dc.type | 学位論文 |