光学材料における反応誘起スラリー援用研削の加工特性解析と加工状態監視システムの構築
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Date
2022-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2021, 総合デザイン工学専攻
Keywords
研削, 光学材料, 化学機械研削, 超精密加工, スラリー, grinding, optical material, chemical mechanical grinding, ultra-precision machining, slurry